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真空熱處理是一種將真空技術與熱處理技術相結合的新型工藝。在這種處理過程中，金屬工件被置于低于一個大氣壓（即負壓）的環境中加熱和處理，這種環境包括低、中等、高及超高多種級別的真空狀態。

與常規的熱處理技術相比，真空熱處理具有顯著的優勢：首先是無氧化和無脫碳的特點；其次能夠去除工件表面的磷屑并脫脂除氣，使表面更加光亮和凈化；再者還能實現更的溫度控制和保溫時間管理，從而優化材料的綜合力學性能如硬度和性能的提升以及畸變的小化。此外，該技術還具有無污染和高自動化程度的優點。然而值得注意的是某些合金元素在真空中易蒸發因此在生產中可能需要充入惰性氣體進行保護且設備成本較高投資較大也是其缺點之一 。

目前該技術已廣泛應用于航空航天 、汽車制造模具加工和電子工業等領域以滿足對材料的需求和提高產品的優勢隨著科技的進步和發展相信未來其在更多領域中將發揮更大的作用和價值。